WO2012171786A1 - Automatic identification of the wavelength of a laser - Google Patents

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WO2012171786A1
WO2012171786A1 PCT/EP2012/060016 EP2012060016W WO2012171786A1 WO 2012171786 A1 WO2012171786 A1 WO 2012171786A1 EP 2012060016 W EP2012060016 W EP 2012060016W WO 2012171786 A1 WO2012171786 A1 WO 2012171786A1
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temperature
absorption
laser
absorption lines
determined
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PCT/EP2012/060016
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Alexander Hartmann
Rainer Strzoda
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Siemens Aktiengesellschaft
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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/28Investigating the spectrum
    • G01J3/42Absorption spectrometry; Double beam spectrometry; Flicker spectrometry; Reflection spectrometry
    • G01J3/433Modulation spectrometry; Derivative spectrometry
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/02Details
    • G01J3/0297Constructional arrangements for removing other types of optical noise or for performing calibration

Definitions

  • the invention relates to a spectrometer assembly for Wel ⁇ lenin-modulation spectroscopy with a tunable laser, a detector device for receiving the laser light after passage through a to be measured material, as well as egg ⁇ ner control device for laser and detector.
  • the invention further relates to a method for wavelength calibration of the laser in a spectrometer setup for wavelength modulation spectroscopy.
  • This setting ie the calibration of the laser, was previously done manually. For this purpose, a spectrum was recorded and then compared by eye with theoretical known spectra. If a match of lines was found, the correct laser current or the correct laser temperature could be set. It is an object of the present invention to provide a spectrometer structure for laser spectroscopy, in which a calibration of the laser wavelength is made possible in an automated manner. It is another object of the present invention to provide a corresponding method for calibration.
  • the object is with respect to the spectrometer structure by a spectrometer structure having the features of claim 1 solved.
  • the method there is a solution in a method having the features of claim 9.
  • the spectrometer setup according to the invention for wavelength modulation spectroscopy comprises a tunable laser and a device for adjusting the temperature of the laser. Furthermore, the spectrometer assembly comprises a Detek ⁇ gate means for receiving the laser light after passing through a material to be measured. Finally, the spectrometer design comprises a control device for controlling the laser and detector device and device for temperature adjustment.
  • the control means is arranged, at least the following steps depicted ⁇ ren for calibrating the wavelength of the laser:
  • Calibration of the wavelength of the laser by comparison of the determined absorption lines with known absorption lines of the material is understood here to mean that, after the calibration has been carried out, it is known which wavelength the laser emits at room temperature or another temperature, or an analogous quantity.
  • the automatic identification of absorption lines and associated calibration offers several advantages.
  • For egg ⁇ nen eliminates a corresponding manual step before a measurement.
  • a possibly complex measurement of the wavelength of the laser by the manufacturer, for example by means of interferometer, is also eliminated.
  • the laser directly in the terminal, so in the spectrometer structure, on their wavelength and thus also ⁇ if tested for usability.
  • Another advantage is that a wider selection of lasers produced can be used. This is due to fluctuations in the laser intensity and also in the wavelength emitted at room temperature during the production of lasers.
  • the fluctuations of the wavelength can be quite a few nanometers at a target wavelength of, for example, 760 nm. If one requires the laser manufacturer to supply only lasers which emit exactly at a predetermined wavelength, then this may only use a few percent of the lasers produced.
  • the exact wavelength emitted at room temperature is less important and significantly more lasers can be used. As a result, the price of a laser is significantly ⁇ Lich reduced.
  • a comparison of the temperature intervals found between the absorption lines is carried out with known intervals.
  • the known intervals are present at ⁇ play as a database as the database HITRAN entnom- men.
  • the waves ⁇ change in length of the laser is proportional to the temperature change, and thus, the wavelength spacing between the Absorpti ⁇ onslinien to be taken for example from a database is proportional to the measured temperature gaps.
  • the theoretical heights, ie intensities of the absorption lines can then be calculated from the database and, in turn, compared with the measured strengths with the aid of normalization. Even though these line strengths coincide with those theoretically known in a certain error range, the wavelength of the laser is uniquely identified.
  • a first stamp is first ⁇ raturwert and driven by drive therefrom the temperature ramp to a second temperature value at the temperature ramp.
  • a second temperature value is preferred as the first temperature value is used.
  • a rising temperature ramp is preferably passed through.
  • a noise value for the Measurement spectrometer setup determined at the beginning of the temperature ramp. This makes it possible in a ⁇ be Sonder preferred embodiment of the invention, and to consider only such in determining the absorption lines whose strength is greater than the noise value calculated. This increases the accuracy of the measurement and the safety of the calibration, as a recording of false absorption lines is avoided.
  • FIG. 1 shows a measuring setup for laser spectroscopy
  • FIG. 1 shows a measuring structure 10 of the exemplary embodiment.
  • the measuring structure 10 includes a laser diode 11, a detector 12 and a control device 13.
  • the laser diode 11, the detector 12 and the control device 13 are arranged in a common housing and connected to each other, wherein the housing is not shown in Figure 1.
  • the detector 12 and the laser diode 11 are aligned with each other such that the light of the laser diode 11 after passing through a gas to be measured 14 at least partially incident on the detector 12.
  • a Peltier element 15 is connected to the laser diode 11.
  • the Peltier element 15 is likewise controlled by the control device 13.
  • the laser diode 11 of the embodiment emits in the range of 760 nm wave length ⁇ , the exact emission wavelength is not known.
  • the spectrometer assembly 10 controlled by the control device 13 passes through a calibration cycle.
  • Laser diode 11 an initial temperature 21, for example, room temperature ⁇ .
  • the temperature of the laser diode 11 is lowered in a first step to a minimum temperature 22.
  • the minimum temperature is determined by the performance of the pelletizing element 15.
  • the power limit of the Peltier element 15 is determined by decreasing the negative slope of the temperature. Meanwhile, the maximum value of the system noise is picked up by the controller 13 and stored for later use.
  • the positive temperature ramp begins.
  • the temperature of the laser diode 11 is increased up to a maximum temperature 23.
  • the Ma ⁇ ximaltemperatur 23 is in turn determined by the power limit of the Peltier element 15 in this embodiment. As before, this limit can be determined by a decreasing slope of the temperature ramp.
  • FIG. 3 schematically shows a section of such a second harmonic spectrum.
  • the spectrum is first examined for local maxima 31, 33. For this purpose, examines the Steuerein ⁇ direction 13 continuously, the resulting values of Spekt ⁇ rums. If such a local maximum 31, 33 is found, then it is checked whether there are also local minima 32, 34 at respectively lower and higher temperature.
  • the actual identification of the wavelength position begins with the determined absorption lines.
  • a restricted absorption line set is selected in advance, which is suitable for the present measurement task.
  • This restricted selected data set is compared with the measured absorption lines. For this purpose, the comparison of the temperature intervals 35 between the local maxima 31, 33 and the theoretically known ones is started. If at least three absorption lines have been determined, at least two such temperature intervals 35 are available for the comparison. In the comparison it is determined whether the sequence of the temperature intervals 35 corresponds to one another of a theoretically known sequence in the selected data set.
  • the sequence of temperature intervals 35 corresponds to the theoretical temperature intervals so be vergli ⁇ chen next line heights.
  • the theoretical heights are calculated from the theoretically known data of the database and then compared with the measured heights by means of a normalization. If the line heights also agree in a certain error frame, the given lines are identifiable. graces and thus the wavelength of the laser as a function of its temperature clearly known.
  • it can be driven 24 is a ge ⁇ desired wavelength of the laser, which is located at a certain absorption line from ⁇ , by choosing a suitable temperature.

Abstract

The invention relates to a spectrometer construction for wavelength modulation spectroscopy, in which a temperature ramp is applied in order to calibrate the wavelength of the laser, an absorption spectrum of the material is recorded as the temperature ramp is applied, at least two absorption lines are detected in the absorption spectrum, and the wavelength is calibrated by automatic comparison of the detected absorption lines with known absorption lines of the material.

Description

Beschreibung description
Automatische Identifikation der Wellenlänge eines Lasers Die Erfindung betrifft einen Spektrometer-Aufbau für die Wel¬ lenlängen-Modulations-Spektroskopie mit einem durchstimmbaren Laser, einer Detektoreinrichtung zur Aufnahme des Laserlichts nach Durchtritt durch ein zu vermessendes Material sowie ei¬ ner Steuereinrichtung für Laser und Detektor. Die Erfindung betrifft weiterhin ein Verfahren zur Wellenlängenkalibrierung des Lasers in einem Spektrometer-Aufbau für die Wellenlängen- Modulations-Spektroskopie . Automatic identification of the wavelength of a laser The invention relates to a spectrometer assembly for Wel ¬ lenlängen-modulation spectroscopy with a tunable laser, a detector device for receiving the laser light after passage through a to be measured material, as well as egg ¬ ner control device for laser and detector. The invention further relates to a method for wavelength calibration of the laser in a spectrometer setup for wavelength modulation spectroscopy.
Zur Messung von Gasen mittels der Laserspektroskopie ist es erforderlich, die Wellenlänge des Lasers auf eine bekannteFor the measurement of gases by means of laser spectroscopy, it is necessary to change the wavelength of the laser to a known one
Absorptionslinie im Spektrum des zu vermessenden Gases einzu¬ stellen. Da in vielen Spektren nicht eine einzelne Absorpti¬ onslinie vorkommt, sondern viele verschiedene, unter Umstän¬ den auch von verschiedenen Gasen hervorgerufene Absorptions- linien, muss die zur Messung geeignete Absorptionslinie im Sensorsystem zuerst eingestellt werden. Einzu absorption line in the spectrum of the gas to be measured ask ¬. Since in many spectra not a single Absorpti ¬ onslinie occurs, but many different, under Umstän ¬ also caused by different gases absorption lines, the appropriate absorption for measurement in the sensor system must be set first.
Diese Einstellung, also die Kalibrierung des Lasers, wurde bisher manuell vorgenommen. Dazu wurde ein Spektrum aufgenom- men und anschließend per Augenmaß mit theoretischen bekannten Spektren verglichen. Wurde eine Übereinstimmung von Linien gefunden, konnte der richtige Laserstrom bzw. die richtige Lasertemperatur eingestellt werden. Es ist Aufgabe der vorliegenden Erfindung, einen Spektrome- ter-Aufbau für die Laserspektroskopie anzugeben, bei dem eine Kalibrierung der Laserwellenlänge automatisiert ermöglicht ist. Weiterhin ist es Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein entsprechendes Verfahren zur Kalibrierung anzugeben. This setting, ie the calibration of the laser, was previously done manually. For this purpose, a spectrum was recorded and then compared by eye with theoretical known spectra. If a match of lines was found, the correct laser current or the correct laser temperature could be set. It is an object of the present invention to provide a spectrometer structure for laser spectroscopy, in which a calibration of the laser wavelength is made possible in an automated manner. It is another object of the present invention to provide a corresponding method for calibration.
Die Aufgabe wird hinsichtlich des Spektrometer-Aufbaus durch einen Spektrometer-Aufbau mit den Merkmalen von Anspruch 1 gelöst. Hinsichtlich des Verfahrens besteht eine Lösung in einem Verfahren mit den Merkmalen von Anspruch 9. The object is with respect to the spectrometer structure by a spectrometer structure having the features of claim 1 solved. As regards the method, there is a solution in a method having the features of claim 9.
Der erfindungsgemäße Spektrometer-Aufbau für die Wellenlän- gen-Modulations-Spektroskopie umfasst einen durchstimmbaren Laser und eine Einrichtung zur Temperatureinstellung des Lasers. Weiterhin umfasst der Spektrometer-Aufbau eine Detek¬ toreinrichtung zur Aufnahme des Laserlichts nach Durchtritt durch ein zu vermessendes Material. Schließlich umfasst der Spektrometer-Aufbau eine Steuereinrichtung zur Steuerung von Laser- und Detektoreinrichtung und Einrichtung zur Temperatureinstellung . The spectrometer setup according to the invention for wavelength modulation spectroscopy comprises a tunable laser and a device for adjusting the temperature of the laser. Furthermore, the spectrometer assembly comprises a Detek ¬ gate means for receiving the laser light after passing through a material to be measured. Finally, the spectrometer design comprises a control device for controlling the laser and detector device and device for temperature adjustment.
Die Steuereinrichtung ist ausgestaltet, zur Kalibrierung der Wellenlänge des Lasers wenigstens folgende Schritte auszufüh¬ ren : The control means is arranged, at least the following steps auszufüh ¬ ren for calibrating the wavelength of the laser:
- Steuerung der Einrichtung zur Temperatureinstellung dergestalt, dass eine Temperaturrampe durchfahren wird, Control of the temperature adjustment device such that a temperature ramp is passed through,
- Aufnahme des Absorptionsspektrums des Materials beim - Recording of the absorption spectrum of the material at
Durchfahren der Temperaturrampe,  Traversing the temperature ramp,
- Ermittlung wenigstens zweier Absorptionslinien im Absorptionsspektrum und  Determination of at least two absorption lines in the absorption spectrum and
- Kalibrierung der Wellenlänge durch Vergleich der ermittelten Absorptionslinien mit bekannten Absorptionslinien des Materials.  Calibration of the wavelength by comparison of the determined absorption lines with known absorption lines of the material.
Das erfindungsgemäße Verfahren zur Wellenlängenkalibrierung eines Lasers in einem Spektrometer-Aufbau für die Wellenlän¬ genmodulationsspektroskopie umfasst die folgenden Schritte: The process for wavelength calibration of a laser in a spectrometer assembly for Wellenlän ¬ genmodulationsspektroskopie comprising the steps of:
- Durchfahren einer Temperaturrampe für den Laser,  Passing through a temperature ramp for the laser,
- Aufnahme des Absorptionsspektrums des Materials beim  - Recording of the absorption spectrum of the material at
Durchfahren der Temperaturrampe,  Traversing the temperature ramp,
- Ermittlung wenigstens zweier Absorptionslinien im Absorptionsspektrum, und  Determining at least two absorption lines in the absorption spectrum, and
- Kalibrierung der Wellenlänge des Lasers durch Vergleich der ermittelten Absorptionslinien mit bekannten Absorptionslinien des Materials. Unter Kalibrierung wird dabei verstanden, dass nach der Ausführung der Kalibrierung bekannt ist, welche Wellenlänge der Laser bei Raumtemperatur oder einer anderen Temperatur emittiert, oder eine analoge Größe. Calibration of the wavelength of the laser by comparison of the determined absorption lines with known absorption lines of the material. Calibration is understood here to mean that, after the calibration has been carried out, it is known which wavelength the laser emits at room temperature or another temperature, or an analogous quantity.
Die automatische Identifikation von Absorptionslinien und damit verbundene Kalibrierung bietet mehrere Vorteile. Zum ei¬ nen entfällt ein entsprechender manueller Schritt vor einer Messung. Weiterhin entfällt auch eine eventuell aufwändige Messung der Wellenlänge des Lasers durch den Hersteller, beispielsweise mittels Interferometer . Vorteilhaft können durch die Erfindung die Laser direkt im Endgerät, also im Spektro- meter-Aufbau, auf ihre Wellenlänge und somit auch gegebenen¬ falls auf die Nutzbarkeit geprüft werden. The automatic identification of absorption lines and associated calibration offers several advantages. For egg ¬ nen eliminates a corresponding manual step before a measurement. Furthermore, a possibly complex measurement of the wavelength of the laser by the manufacturer, for example by means of interferometer, is also eliminated. Advantageously, by the invention, the laser directly in the terminal, so in the spectrometer structure, on their wavelength and thus also ¬ if tested for usability.
Ein weiterer Vorteil liegt darin, dass eine erweitere Auswahl an produzierten Lasern verwendet werden kann. Dies liegt daran, dass bei der Herstellung von Lasern Schwankungen in der Laserintensität und auch in der bei Raumtemperatur emittier- ten Wellenlänge auftreten. Die Schwankungen der Wellenlänge können bei einer Zielwellenlänge von beispielsweise 760 nm durchaus einige Nanometer betragen. Verlangt man vom Laserhersteller, nur Laser zu liefern, die exakt bei einer vorher festgelegten Wellenlänge emittieren, so kann dieser von den hergestellten Lasern unter Umständen nur wenige Prozent verwenden. Durch eine Identifizierung der Absorptionslinien im Spektrum und beispielsweise durch eine vorherige Festlegung von mehreren geeigneten Absorptionslinien für eine Messung ist die exakte bei Raumtemperatur emittierte Wellenlänge nicht mehr so wichtig und es können deutlich mehr Laser verwendet werden. Hierdurch wird der Preis eines Lasers erheb¬ lich verringert. Another advantage is that a wider selection of lasers produced can be used. This is due to fluctuations in the laser intensity and also in the wavelength emitted at room temperature during the production of lasers. The fluctuations of the wavelength can be quite a few nanometers at a target wavelength of, for example, 760 nm. If one requires the laser manufacturer to supply only lasers which emit exactly at a predetermined wavelength, then this may only use a few percent of the lasers produced. By identifying the absorption lines in the spectrum and, for example, by preselecting several suitable absorption lines for a measurement, the exact wavelength emitted at room temperature is less important and significantly more lasers can be used. As a result, the price of a laser is significantly ¬ Lich reduced.
Ein weiterer Vorteil, der ebenfalls beim Masseneinsatz zu Ta- ge tritt, ergibt sich durch die automatische Linienidentifi¬ kation und liegt darin, dass die Sensoren nicht alle manuell auf die richtige Absorptionslinie eingestellt werden müssen, was wiederum den Einsatz von fachkundigem Personal erfordern würde . Another advantage, which also occurs in the mass use ge to Ta, results from the automatic Linienidentifi ¬ cation and is that the sensors must not be manually set to the correct absorption line, which in turn would require the use of expert personnel.
In einer bevorzugten Ausgestaltung und Weiterbildung der Er- findung wird, nachdem wenigstens zwei Absorptionslinien ermittelt wurden, ein Vergleich der gefundenen Temperaturintervalle zwischen den Absorptionslinien mit bekannten Intervallen durchgeführt. Die bekannten Intervalle werden dabei bei¬ spielsweise einer Datenbank wie der HITRAN-Datenbank entnom- men. Hierbei wird bevorzugt berücksichtigt, dass die Wellen¬ längenänderung des Lasers proportional zur Temperaturänderung ist und somit die Wellenlängenabstände zwischen den Absorpti¬ onslinien, die beispielsweise aus einer Datenbank entnommen werden, proportional zu den gemessenen Temperaturlücken sind. Durch Normierung können die Abstände miteinander verglichen werden . In a preferred embodiment and further development of the invention, after at least two absorption lines have been determined, a comparison of the temperature intervals found between the absorption lines is carried out with known intervals. The known intervals are present at ¬ play as a database as the database HITRAN entnom- men. Here, it is considered preferable that the waves ¬ change in length of the laser is proportional to the temperature change, and thus, the wavelength spacing between the Absorpti ¬ onslinien to be taken for example from a database is proportional to the measured temperature gaps. By normalization, the distances can be compared with each other.
Passen die theoretischen Abstände zu den gemessenen Abständen, so können anschließend gemäß einer Weiterbildung der Er- findung die theoretischen Höhen, also Stärken der Absorptionslinien, aus der Datenbank berechnet und wiederum mit Hilfe von Normierung mit den gemessenen Stärken verglichen werden. Wenn auch diese Linienstärken in einem gewissen Fehlerrahmen mit den theoretisch bekannten übereinstimmen, so ist die Wel- lenlänge des Lasers eindeutig identifiziert. If the theoretical distances match the measured distances, then, according to an embodiment of the invention, the theoretical heights, ie intensities of the absorption lines, can then be calculated from the database and, in turn, compared with the measured strengths with the aid of normalization. Even though these line strengths coincide with those theoretically known in a certain error range, the wavelength of the laser is uniquely identified.
In einer bevorzugten Ausgestaltung und Weiterbildung der Erfindung wird bei der Temperaturrampe zuerst ein erster Tempe¬ raturwert angesteuert und von diesem aus die Temperaturrampe zu einem zweiten Temperaturwert durchfahren. Mit anderen Worten wird also eine steigende oder fallende Temperaturrampe durchlaufen. Bevorzugt wird als erster Temperaturwert ein Temperaturminimum und als zweiter Temperaturwert ein Tempera¬ turmaximum verwendet. Mit anderen Worten wird bevorzugt eine steigende Temperaturrampe durchfahren. In a preferred embodiment of the invention, and a first stamp is first ¬ raturwert and driven by drive therefrom the temperature ramp to a second temperature value at the temperature ramp. In other words, an increasing or decreasing temperature ramp will therefore pass through. A temperature minimum and as the second temperature value is a temperature ¬ turmaximum is preferred as the first temperature value is used. In other words, a rising temperature ramp is preferably passed through.
Gemäß einer weiteren bevorzugten Ausgestaltung der Erfindung wird zu Beginn der Temperaturrampe ein Rauschwert für den MessSpektrometer-Aufbau ermittelt. Damit ist es in einer be¬ sonders bevorzugten Ausgestaltung und Weiterbildung der Erfindung möglich, bei der Ermittlung der Absorptionslinien nur solche zu berücksichtigen, deren Stärke größer ist als der so ermittelte Rauschwert. Hierdurch werden die Genauigkeit der Messung und die Sicherheit der Kalibrierung erhöht, da eine Aufnahme falscher Absorptionslinien vermieden wird. According to a further preferred embodiment of the invention, at the beginning of the temperature ramp, a noise value for the Measurement spectrometer setup determined. This makes it possible in a ¬ be Sonder preferred embodiment of the invention, and to consider only such in determining the absorption lines whose strength is greater than the noise value calculated. This increases the accuracy of the measurement and the safety of the calibration, as a recording of false absorption lines is avoided.
Um eine weitere Erhöhung der Genauigkeit zu erreichen und so- mit Kalibrierfehler zu vermeiden, werden wenigstens drei Absorptionslinien für die Kalibrierung ermittelt und berücksichtigt. Hierdurch können für die Kalibrierung zwei Temperaturintervalle und drei Linienstärken verwendet werden. Ein bevorzugtes, jedoch keinesfalls einschränkendes Ausfüh¬ rungsbeispiel für die Erfindung wird nunmehr anhand der Figu¬ ren der Zeichnung näher erläutert. Dabei sind die Merkmale schematisiert dargestellt. Es zeigen Figur 1 einen Messaufbau für die Laserspektroskopie, In order to achieve a further increase in accuracy and thus to avoid calibration errors, at least three absorption lines for the calibration are determined and taken into account. This allows two temperature intervals and three line weights to be used for the calibration. A preferred, but by no means limitative exporting ¬ approximately example of the invention will now be further explained with reference to Figu ¬ ren the drawing. The features are shown schematically. FIG. 1 shows a measuring setup for laser spectroscopy,
Figur 2 einen Temperaturverlauf für den Laser des Messauf¬ baus, 2 shows a temperature curve for the laser of Messauf ¬ construction,
Figur 3 ein gemessenes Spektrum. Figur 1 zeigt einen Messaufbau 10 des Ausführungsbeispiels. Der Messaufbau 10 umfasst eine Laserdiode 11, einen Detektor 12 sowie eine Steuereinrichtung 13. Die Laserdiode 11, der Detektor 12 und die Steuereinrichtung 13 sind in einem gemeinsamen Gehäuse angeordnet und miteinander verbunden, wobei das Gehäuse in Figur 1 nicht dargestellt ist. Der Detektor 12 und die Laserdiode 11 sind derart zueinander ausgerichtet, dass das Licht der Laserdiode 11 nach Durchtritt durch ein zu vermessendes Gas 14 wenigstens teilweise in den Detektor 12 einfällt. Zur Einstellung der Temperatur der Laserdiode 11 ist ein Peltierelement 15 mit der Laserdiode 11 verbunden. Das Peltierelement 15 wird ebenfalls von der Steuereinrich¬ tung 13 angesteuert. Im Folgenden wird dargestellt, wie die genaue Wellenlängenla¬ ge der Laserdiode 11 ermittelt wird. Die Laserdiode 11 des Ausführungsbeispiels emittiert im Bereich von 760 nm Wellen¬ länge, wobei die genaue Emissionswellenlänge nicht bekannt ist. Um nun die genaue Emissionswellenlängenlage zu ermit¬ teln, durchläuft der Spektrometer-Aufbau 10 gesteuert durch die Steuereinrichtung 13 einen Kalibrationszyklus. Figure 3 is a measured spectrum. FIG. 1 shows a measuring structure 10 of the exemplary embodiment. The measuring structure 10 includes a laser diode 11, a detector 12 and a control device 13. The laser diode 11, the detector 12 and the control device 13 are arranged in a common housing and connected to each other, wherein the housing is not shown in Figure 1. The detector 12 and the laser diode 11 are aligned with each other such that the light of the laser diode 11 after passing through a gas to be measured 14 at least partially incident on the detector 12. To set the temperature of the laser diode 11, a Peltier element 15 is connected to the laser diode 11. The Peltier element 15 is likewise controlled by the control device 13. The following describes how the exact Wellenlängenla ¬ ge of the laser diode 11 is determined will be shown. The laser diode 11 of the embodiment emits in the range of 760 nm wave length ¬, the exact emission wavelength is not known. In order to now the exact emission wavelength able to ermit ¬ stuffs, the spectrometer assembly 10 controlled by the control device 13 passes through a calibration cycle.
Hierzu wird eine in Figur 2 dargestellte Temperaturkurve durchfahren. Vor dem Beginn des Kalibrationszyklus hat dieFor this purpose, a temperature curve shown in Figure 2 is traversed. Before the start of the calibration cycle, the
Laserdiode 11 eine Anfangstemperatur 21, beispielsweise Raum¬ temperatur. Um nun mit der Temperaturrampe einen möglichst weiten Bereich durchfahren zu können, wird die Temperatur der Laserdiode 11 in einem ersten Schritt abgesenkt auf eine Mi- nimaltemperatur 22. Die Minimaltemperatur wird dabei in diesem Ausführungsbeispiel durch die Leistungsfähigkeit des Pel- tierelements 15 bestimmt. Die Leistungsgrenze des Peltierele- ments 15 wird durch ein Abnehmen der negativen Steigung der Temperatur festgestellt. Währenddessen wird der maximale Wert des Systemrauschens von der Steuereinrichtung 13 aufgenommen und für die spätere Verwendung gespeichert. Laser diode 11 an initial temperature 21, for example, room temperature ¬ . In order to be able to travel through the widest possible range with the temperature ramp, the temperature of the laser diode 11 is lowered in a first step to a minimum temperature 22. In this exemplary embodiment, the minimum temperature is determined by the performance of the pelletizing element 15. The power limit of the Peltier element 15 is determined by decreasing the negative slope of the temperature. Meanwhile, the maximum value of the system noise is picked up by the controller 13 and stored for later use.
Ist die Minimaltemperatur 22 einmal erreicht, so beginnt die positive Temperaturrampe. Dabei wird die Temperatur der La- serdiode 11 bis zu einer Maximaltemperatur 23 erhöht. Die Ma¬ ximaltemperatur 23 ist in diesem Ausführungsbeispiel wiederum durch die Leistungsgrenze des Peltierelements 15 bestimmt. Wie bereits vorher kann diese Grenze durch eine abnehmende Steigung der Temperaturrampe festgestellt werden. Once the minimum temperature 22 has been reached, the positive temperature ramp begins. In this case, the temperature of the laser diode 11 is increased up to a maximum temperature 23. The Ma ¬ ximaltemperatur 23 is in turn determined by the power limit of the Peltier element 15 in this embodiment. As before, this limit can be determined by a decreasing slope of the temperature ramp.
Beim Durchlaufen der Temperaturrampe von der Minimaltempera¬ tur 22 zur Maximaltemperatur 23 arbeiten die Laserdiode 11 und der Detektor 12 und es wird das Spektrum von der Steuereinrichtung 13 aufgenommen und auf Absorptionslinien unter- sucht. Im Ausführungsbeispiel wird dazu das zweite harmoni¬ sche Spektrum untersucht. Figur 3 zeigt schematisiert einen Ausschnitt aus einem solchen zweiten harmonischen Spektrum. Im Ausführungsbeispiel wird das Spektrum zuerst auf lokale Maxima 31, 33 untersucht. Hierzu untersucht die Steuerein¬ richtung 13 fortlaufend die sich ergebenden Werte des Spekt¬ rums. Wird ein solches lokales Maximum 31, 33 gefunden, so wird geprüft, ob hierzu auch lokale Minima 32, 34 bei jeweils kleinerer und größerer Temperatur existieren. Diese lokalen Minima 32, 34 um ein lokales Maximum 31, 33 herum sind cha¬ rakteristisch für Absorptionslinien in der zweiten harmonischen Form. Wird zu einem lokalen Maximum 31, 33 jeweils ein Minimum 32, 34 bei kleinerer und größerer Temperatur gefunden, so handelt es sich um eine Absorptionslinie, die gespei¬ chert wird. When passing through the temperature ramp from the minimum temperature 22 to the maximum temperature 23, the laser diode 11 and the detector 12 operate and the spectrum is recorded by the control device 13 and examined for absorption lines. In the exemplary embodiment to the second harmonized ¬ specific spectrum is examined. FIG. 3 schematically shows a section of such a second harmonic spectrum. In the exemplary embodiment, the spectrum is first examined for local maxima 31, 33. For this purpose, examines the Steuerein ¬ direction 13 continuously, the resulting values of Spekt ¬ rums. If such a local maximum 31, 33 is found, then it is checked whether there are also local minima 32, 34 at respectively lower and higher temperature. These local minima 32, 34 to a local maximum 31, 33 are around cha ¬ rakteristisch for absorption lines in the second harmonic form. Becomes a local maximum 31, 33 each have a minimum 32, 34 found in smaller and larger temperature, so it is an absorption line vomit ¬ is chert.
Ist die Temperaturrampe einmal durchfahren, so beginnt die eigentliche Identifikation der Wellenlängenlage anhand der ermittelten Absorptionslinien. Hierbei ist es aufgrund des Umfangs der theoretisch bekannten Daten zu Absorptionslinien vorteilhaft, wenn ein eingeschränkter Absorptionsliniensatz vorab ausgewählt ist, der sich für die vorliegende Messaufga- be eignet. Dieser eingeschränkte ausgewählte Datensatz wird mit den gemessenen Absorptionslinien verglichen. Hierzu wird mit dem Vergleich der Temperaturintervalle 35 zwischen den lokalen Maxima 31, 33 und den theoretisch bekannten begonnen. Sind wenigstens drei Absorptionslinien ermittelt worden, so stehen wenigstens zwei solche Temperaturintervalle 35 für den Vergleich zur Verfügung. Bei dem Vergleich wird ermittelt, ob die Abfolge der Temperaturintervalle 35 aufeinander der einer theoretisch bekannten Abfolge im ausgewählten Datensatz entspricht . Once the temperature ramp has passed through, the actual identification of the wavelength position begins with the determined absorption lines. In this case, it is advantageous on the basis of the scope of the theoretically known data for absorption lines if a restricted absorption line set is selected in advance, which is suitable for the present measurement task. This restricted selected data set is compared with the measured absorption lines. For this purpose, the comparison of the temperature intervals 35 between the local maxima 31, 33 and the theoretically known ones is started. If at least three absorption lines have been determined, at least two such temperature intervals 35 are available for the comparison. In the comparison it is determined whether the sequence of the temperature intervals 35 corresponds to one another of a theoretically known sequence in the selected data set.
Ist nun ein Bereich gefunden, bei dem die Abfolge der Temperaturintervalle 35 den theoretischen Temperaturintervallen entspricht, so werden als nächstes die Linienhöhen vergli¬ chen. Hierfür werden die theoretischen Höhen aus den theore- tisch bekannten Daten der Datenbank berechnet und anschließend mit Hilfe einer Normierung mit den gemessenen Höhen verglichen. Stimmen auch die Linienhöhen in einem gewissen Fehlerrahmen überein, so sind die vorgegebenen Linien identifi- ziert und somit die Wellenlänge des Lasers in Abhängigkeit von seiner Temperatur eindeutig bekannt. Somit kann eine ge¬ wünschte Wellenlänge des Lasers, die bei einer bestimmten Ab¬ sorptionslinie liegt, durch Wahl einer geeigneten Temperatur 24 angesteuert werden. Is now a range found in which the sequence of temperature intervals 35 corresponds to the theoretical temperature intervals so be vergli ¬ chen next line heights. For this purpose, the theoretical heights are calculated from the theoretically known data of the database and then compared with the measured heights by means of a normalization. If the line heights also agree in a certain error frame, the given lines are identifiable. graces and thus the wavelength of the laser as a function of its temperature clearly known. Thus it can be driven 24 is a ge ¬ desired wavelength of the laser, which is located at a certain absorption line from ¬, by choosing a suitable temperature.

Claims

Patentansprüche claims
1. Spektrometer-Aufbau (10) für die Wellenlängen-Modulations- Spektroskopie mit 1. spectrometer structure (10) for the wavelength modulation spectroscopy with
- einem durchstimmbaren Laser (11), a tunable laser (11),
- einer Einrichtung (15) zur Temperatureinstellung des Lasers (11) ,  a device (15) for adjusting the temperature of the laser (11),
- einer Detektoreinrichtung (12) zur Aufnahme des Laserlichts nach Durchtritt durch ein zu vermessendes Material (14), - einer Steuereinrichtung (13),  - a detector device (12) for receiving the laser light after passing through a material to be measured (14), - a control device (13),
dadurch gekennzeichnet, dass die Steuereinrichtung (13) aus¬ gestaltet ist, zur Kalibrierung der Wellenlänge des Lasers (11) wenigstens folgende Schritte auszuführen: characterized in that the control device (13) is made ¬ designed for calibration of the wavelength of the laser (11) perform at least the following steps:
- Steuerung der Einrichtung (15) zur Temperatureinstellung so, dass eine Temperaturrampe durchfahren wird,  Controlling the device (15) for temperature adjustment so that a temperature ramp is passed through,
- Aufnahme des Absorptionsspektrums des Materials (14) beim Durchfahren der Temperaturrampe,  Recording the absorption spectrum of the material (14) when passing through the temperature ramp,
- Ermittlung wenigstens zweier Absorptionslinien im Absorptionsspektrum,  Determination of at least two absorption lines in the absorption spectrum,
- Kalibrierung der Wellenlänge durch Vergleich der ermittelten Absorptionslinien mit bekannten Absorptionslinien des Materials . Calibration of the wavelength by comparison of the determined absorption lines with known absorption lines of the material.
2. Spektrometer-Aufbau (10) gemäß Anspruch 1, bei dem der Vergleichsschritt zuerst einen Vergleich von Temperaturintervallen (35) zwischen ermittelten Absorptionslinien mit bekannten Temperaturintervallen umfasst. A spectrometer assembly (10) according to claim 1, wherein the comparing step comprises first a comparison of temperature intervals (35) between detected absorption lines having known temperature intervals.
3. Spektrometer-Aufbau (10) gemäß Anspruch 2, bei dem der Vergleichsschritt nach dem Vergleich von Temperaturinterval¬ len (35) einen Vergleich der Stärke der Absorptionslinien mit bekannten Stärken umfasst. 3. spectrometer structure (10) according to claim 2, wherein the comparison step after the comparison of Temperaturinterval ¬ len (35) comprises a comparison of the strength of the absorption lines with known strengths.
4. Spektrometer-Aufbau (10) gemäß einem der vorangehenden An- Sprüche, bei dem die Steuerung der Einrichtung (15) zur Temperatureinstellung so vernehmbar ist, dass zuerst ein erster Temperaturwert (22) angesteuert wird und von diesem aus die Temperaturrampe zu einem zweiten Temperaturwert (23) durch¬ fahren wird. 4. spectrometer structure (10) according to one of the preceding arrival claims, in which the control of the means (15) for temperature adjustment is so audible that first a first temperature value (22) is driven and from there the Temperature ramp to a second temperature value (23) by ¬ drive.
5. Spektrometer-Aufbau (10) gemäß einem der vorangehenden An- Sprüche, wobei der erste Temperaturwert (22) ein Temperatur¬ minimum (22) ist und der zweite Temperaturwert (23) ein Tem¬ peraturmaximum (23) . 5. spectrometer structure (10) according to one of the preceding arrival proverbs, wherein the first temperature value (22) is a temperature ¬ minimum (22) and the second temperature value (23) tem ¬ ture maximum (23).
6. Spektrometer-Aufbau (10) gemäß einem der vorangehenden An- Sprüche, bei dem die Steuereinrichtung (13) ausgestaltet ist, zu Beginn der Temperaturrampe einen Rauschwert für den 6. Spectrometer structure (10) according to one of the preceding arrival claims, in which the control device (13) is configured, at the beginning of the temperature ramp, a noise value for the
Spektrometer-Aufbau (10) zu ermitteln und bei der Ermittlung der Absorptionslinien nur solche zu berücksichtigen, bei denen die Stärke größer ist als der Rauschwert. To determine the spectrometer structure (10) and to consider only those in the determination of the absorption lines, where the strength is greater than the noise value.
7. Spektrometer-Aufbau (10) gemäß einem der vorangehenden An¬ sprüche, bei dem die Steuereinrichtung (13) ausgestaltet ist, wenigstens drei Absorptionslinien für die Kalibrierung zu ermitteln und verwenden. 7. spectrometer assembly (10) according to one of the preceding claims ¬, wherein the control means (13) is configured to determine at least three absorption lines for the calibration and use.
8. Spektrometer-Aufbau (10) gemäß einem der vorangehenden An¬ sprüche, bei dem die Steuereinrichtung (13) ausgestaltet ist, das zweite harmonische Spektrum zu verwenden und zur Ermitt¬ lung einer Absorptionslinie zuerst ein lokales Maximum 8. spectrometer assembly (10) according to one of the preceding claims ¬, wherein the control means (13) is configured to use the second harmonic spectrum, and to iden ¬ development of an absorption line first a local maximum
(31,33) des Spektrums ermittelt wird, dann bei einem ermit¬ telten lokalen Maximum (31,33) ermittelt wird, ob zugehörige lokale Minima (32,34) um das lokale Maximum (31,33) herum vorhanden sind, und nur bei Vorhandensein der lokalen Minima (32,34) das gefundene lokale Maximum (31,33) als Absorptions- linie gespeichert wird. Is determined (31,33) is determined of the spectrum, then at a ermit ¬ telten local maximum (31,33), whether associated local minima (32,34) to the local maximum (31,33) are provided around, and only in the presence of the local minima (32,34), the found local maximum (31,33) is stored as an absorption line.
9. Verfahren zur Wellenlängen-Kalibrierung eines Lasers (11) in einem Spektrometer-Aufbau (10) für die Wellenlängenmodula¬ tionsspektroskopie mit folgenden Schritten: 9. A process for wavelength calibration of a laser (11) in a spectrometer assembly (10) for the Wellenlängenmodula ¬ absorption spectroscopy comprising the steps of:
- Durchfahren einer Temperaturrampe für den Laser (11), Passing through a temperature ramp for the laser (11),
- Aufnahme des Absorptionsspektrums eines Materials (14) beim Durchfahren der Temperaturrampe, - Ermittlung wenigstens zweier Absorptionslinien im Absorptionsspektrum, Recording the absorption spectrum of a material (14) when passing through the temperature ramp, Determination of at least two absorption lines in the absorption spectrum,
- Kalibrierung der Wellenlänge des Lasers (11) durch Ver¬ gleich der ermittelten Absorptionslinien mit bekannten Ab- sorptionslinien des Materials. - Calibration of the wavelength of the laser (11) by Ver ¬ equal to the determined absorption lines with known absorption lines of the material.
10. Verfahren gemäß Anspruch 9, bei dem im Vergleichsschritt zuerst ein Vergleich von Temperaturintervallen (35) zwischen ermittelten Absorptionslinien mit bekannten Temperaturinter- vallen durchgeführt wird, und dann ein Vergleich der Stärke der Absorptionslinien mit bekannten Stärken. 10. The method according to claim 9, wherein in the comparison step first a comparison of temperature intervals (35) between determined absorption lines with known temperature intervals is performed, and then a comparison of the strength of the absorption lines with known starches.
11. Verfahren gemäß Anspruch 9 oder 10, bei dem zuerst ein erster Temperaturwert (22) für den Laser (11) angesteuert wird und von diesem aus die Temperaturrampe zu einem zweiten Temperaturwert (23) durchfahren wird. 11. The method according to claim 9 or 10, wherein first a first temperature value (22) for the laser (11) is driven and from there the temperature ramp is passed to a second temperature value (23).
12. Verfahren gemäß einem der Ansprüche 9 bis 11, wobei als erster Temperaturwert (22) ein Temperaturminimum (22) und als zweiter Temperaturwert (23) ein Temperaturmaximum (23) verwendet wird. 12. The method according to any one of claims 9 to 11, wherein a temperature minimum (22) is used as the first temperature value (22) and a temperature maximum (23) is used as the second temperature value (23).
13. Verfahren gemäß einem der Ansprüche 9 bis 12, wobei zu Beginn der Temperaturrampe ein Rauschwert für den Spektrome- ter-Aufbau (10) ermittelt wird, und bei der Ermittlung der13. The method according to any one of claims 9 to 12, wherein at the beginning of the temperature ramp, a noise value for the spectrometer construction (10) is determined, and in determining the
Absorptionslinien nur solche berücksichtigt werden, bei denen die Stärke größer ist als der Rauschwert. Absorption lines are considered only those in which the strength is greater than the noise value.
14. Verfahren gemäß einem der Ansprüche 9 bis 13, bei dem we- nigstens drei Absorptionslinien für die Kalibrierung ermittelt und verwendet werden. 14. The method according to any one of claims 9 to 13, wherein at least three absorption lines for the calibration are determined and used.
15. Verfahren gemäß einem der Ansprüche 9 bis 14, bei dem das zweite harmonische Spektrum verwendet wird und zur Ermittlung einer Absorptionslinie zuerst ein lokales Maximum (31,33) des Spektrums ermittelt wird, dann bei einem ermittelten lokalen Maximum (31,33) ermittelt wird, ob zugehörige lokale Minima (32,34) um das lokale Maximum (31,33) herum vorhanden sind, und nur bei Vorhandensein der lokalen Minima (32,34) das gefundene lokale Maximum (31,33) als Absorptionslinie gespei¬ chert wird. 15. The method according to any one of claims 9 to 14, wherein the second harmonic spectrum is used and to determine an absorption line first a local maximum (31,33) of the spectrum is determined, then determined at a determined local maximum (31,33) whether there are associated local minima (32,34) around the local maximum (31,33), and only in the presence of local minima (32,34) is the found local maximum (31,33) as the absorption line vomit ¬ chert.
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